Mikrosystemtechnik
Aufbau und Funktion von miniaturisierten Systemen
Hardcover
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ISBN-13:
9783802317729
Veröffentl:
2000
Einband:
Hardcover
Seiten:
448
Autor:
Wolf-Joachim Fischer
Gewicht:
871 g
SKU:
INF1000003127
Sprache:
Deutsch
Beschreibung:
Mikrosystemtechnik ist die Miniaturisierung kompletter Funktionseinheiten,bestehend aus mikromechanischen und mikroelektronischen Bauteilen, wie Sensoren, Aktoren, Signalverarbeitungskomponenten sowie bei autark arbeitenden Systemen Elementen zur Energieversorgung. Für die Fertigung der Mikrosystemekommen Mikrotechniken sowie hochentwickelte Verfahren der Aufbau- und Verbindungstechnik zur Anwendung. Im Buch wird sowohl auf die immer stärker an Bedeutung gewinnenden on-chip-Systeme als auch auf hybride Systemlösungen eingegangen.
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