Schichtmeßtechnik
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Beschreibung:
Eigenschaften von Schichten werden technisch hauptsächlich durch Messungen bestimmt. Das Thema vermittelt Grundlagen und die gängige Praxis mit vielen Beispielen, Diagrammen und Skizzen:
• Schichterzeugungsverfahren,
• Schichtaufbau und wichtige Standards,
• Strukturanalyse,
• Reinheitsbestimmungen von Schichtmaterial und Substratoberfläche,
• Messungen von Schichteigenschaften,
• Schichtmeßpraxis in Beispielen,
• viele Abbildungen von Meßgeräten mit Beschreibung und Herstelleradressen.
Das Buch ist ein wertvolles Nachschlagewerk für Meister, Techniker und Ingenieure sowie Studenten und Wissenschaftler.
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