Die dritte Auflage des mittlerweile zum Standardwerk gereiften Lehrbuchs trägt den rasanten Entwicklungen in diesem interdisziplinären Gebiet umfassend Rechnung. Insbesondere die Kapitel Siliziumtechnik, Materialien und Alternative Technologien wurden stark erweitert. Außerdem sind neue Anwendungsaspekte hinzugekommen. Somit schlägt dieses Lehrbuch weiterhin in einzigartiger Weise den Bogen von den Grundlagen der Mikrosystemtechnik bis hin zu den aktuellen Anwendungen in einer Vielzahl von High-Tech Entwicklungen.

ALLGEMEINE EINFÜHRUNG IN DIE MIKROSTRUKTURTECHNIKWas ist Mikrostrukturtechnik?Von der Mikrostrukturtechnik zur MikrosystemtechnikDIE PARALLELEN ZUR MIKROELEKTRONIKFertigungskonzepte der MikroelektronikAufbau- und VerbindungstechnikReinraumtechnikDIE NATURWISSENSCHAFTLICHEN GRUNDLAGEN DER MIKROTECHNIKEin Ausflug in die QuantenmechanikKristalle und KristallographieMaterialien der MikrotechnikGrundbegriffe der Elektrochemie und der galvanischen AbscheidungBASISTECHNOLOGIEN DER MIKROTECHNIKGrundlagen der VakuumtechnikErzeugung von DünnschichtenAbtragen und Strukturieren von DünnschichtenOberflächenanalyseLITHOGRAPHIEÜberblick und HistorieResistsStrukturübertragungMaskenfertigungStrahlungsquellenDIE SILIZIUM-MIKROMECHANIKMikromechanische GrundstrukturenDie Oberflächen-MikrotechnikAnwendungsbeispieleDAS LIGA-VERFAHRENÜberblickMaskenherstellungRöntgentiefenlithographieGalvanikAbformungVarianten der LIGA-TechnikAnwendungsbeispieleALTERNATIVE VERFAHREN DER MIKROSTRUKTURIERUNGMechanische MikrofertigungLaser-AblationIonenverfahrenAUFBAU- UND VERBINDUNGSTECHNIKEN (AVT)HybridtechnikenKontaktierungstechnikenKlebetechnikAnodisches BondenGehäusungSYSTEMTECHNIKDefinition eines MikrosystemsEntwurf, Simulation und Test von MikrosystemenSignalverarbeitung für Sensoren in MikrosystemenIndustrielle Konzepte der MikrosystemfertigungANWENDUNGENAllgemeine Meß- und RegeltechnikOptische KommunikationMedizintechnikAusblick