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CVD of Compound Semiconductors
Precursor Synthesis, Development and Applications
E-Book
Sofort lieferbar | Lieferzeit: Sofort lieferbar I
ISBN-13:
9783527614622
Veröffentl:
2008
Einband:
E-Book
Seiten:
338
Autor:
Anthony C. Jones
eBook Typ:
PDF
eBook Format:
Reflowable
Kopierschutz:
2 - DRM Adobe
Sprache:
Englisch
Beschreibung:
Metallorganische Precursormoleküle sind zur Herstellung von dünnen, hochreinen Schichten für Elektronikbauelemente unentbehrlich. Dieses Handbuch behandelt die Herstellung und Struktur der Precursor und ihre Anwendung in CVD-Prozessen zur Herstellung von Verbindungshalbleitern.Unter anderem werden behandelt:* Strategien und Techniken zur Herstellung von Verbindungshalbleitern* Metallorganische Precursormoleküle für III-V MOVPE* Metallorganische Precursormoleküle für II-VI MOVPE* Einkomponentenvorstufen* CBE-Technik* ALE-TechnikEine Reihe von Glossarien und ein ausführliches Literaturverzeichnis runden dieses umfassende Werk ab. Dieses Buch ist für Chemiker, Physiker, Ingenieure und Materialwissenschaftler, die sich mit der Materialentwicklung dünner Schichten befassen, zu empfehlen.
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