Nanofabrication
Principles, Capabilities and Limits
Paperback
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ISBN-13:
9783319818757
Veröffentl:
2018
Einband:
Paperback
Erscheinungsdatum:
20.06.2018
Seiten:
452
Autor:
Zheng Cui
Gewicht:
680 g
Format:
235x155x25 mm
Sprache:
Englisch
Beschreibung:
Compares nanofabrication technologies, including their capabilities and limitations, in a consistent, reader-friendly manner
1. Introduction.- 2. Nanofabrication by Photons.- 3. Nanofabrication by Electron Beam.- 4. Nanofabrication by Ion Beam.- 5. Nanofabrication by Scanning Probes.- 6. Nanofabrication by Replication.- 7. Nanoscale Pattern Transfer by Etching.- 8. Nanoscale Pattern Transfer by Deposition.- 9. Indirect Nanofabrication.- 10. Nanofabrication by Self-Assembly.- 11. Applications of Nanofabrication Technologies.
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