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Stress and Strain Engineering at Nanoscale in Semiconductor Devices
ISBN-13:
9781000404937
Veröffentl:
2021
Seiten:
274
Autor:
Chinmay K. Maiti
eBook Typ:
PDF
eBook Format:
EPUB
Kopierschutz:
0 - No protection
Sprache:
Englisch
Beschreibung:
Based on 3D process and device simulations with mechanical stress simulations by finite element techniques, this book explains performance assessment of nanoscale devices with strained SiGe and other stressors. It explains the process-induced stress transfer and developments at 7nm technology and below node in the area of strain-engineered devices.
Chapter 1. Introduction
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