Ion Implantation Technology: 17th International Conference on Ion Implantation Technology
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ISBN-13:
9780735406346
Veröffentl:
2009
Erscheinungsdatum:
01.03.2009
Seiten:
576
Autor:
Edmund G. Seebauer
Gewicht:
68 g
Format:
140x124x10 mm
Serie:
1066, AIP Conference Proceedings / M
Sprache:
Englisch
Beschreibung:
The conference is focused on recent advances and emerging technologies in semiconductor processing before, during and after ion implantation. The content encompasses fundamental physical understanding, common and novel applications as well as equipment issues, maintenance and design. The primary audience is process engineers in the microelectronics industry. Additional contributions come from academia and other industry segments (automotive, aerospace, and medical device manufacturing).
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