Microsensors, Mems, and Smart Devices
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ISBN-13:
9780471861096
Veröffentl:
2001
Erscheinungsdatum:
27.12.2001
Seiten:
522
Autor:
Julian W Gardner
Gewicht:
1111 g
Format:
248x173x34 mm
Sprache:
Englisch
Beschreibung:
"Smart Devices" sind gefragt: Ob es um "intelligente" Wandverkleidungen zur Lärmdemmung in Hubschraubern oder um "sprechende" Etiketten von Nahrungsmitteln geht, "mitdenkende" Geräte könnten uns das Leben in vielen Bereichen erleichtern. Die Autoren dieses Buches beschreiben einerseits die Herstellung intelligenter Sensoren und andererseits deren Verknüpfung mit speziellen Stellgliedern zu mikroelektromechanischen Systemen, von deren Möglichkeiten der Leser einen umfassenden Eindruck erhält.
IntroductionElectronic Materials and ProcessingMEMS Materials and their PreparationStandard Microelectronic TechnologiesSilicon Micromachining:BulkSilicon Micromachining: SurfaceMicrostereolithography for MEMSMicrosensorsIntroduction to SAW DevicesSurface Acoustic Waves in SolidsIDT Microsensor Parameter MeasurementIDT Microsensor FabricationIDT MicrosensorsMEMS-IDT MicrosensorsSmart Sensors and MEMSAppendicesIndex
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